产品型号

SGC-10 薄膜测厚仪

主要特点

1、非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜；      

2、测量速度快，测量时间为秒的量级；                                

3、可用来测薄膜厚度， 也可用来测量薄膜的折射率 n 和消光吸收k；     

4、可测单层薄膜，还可测多层膜系；                                  

5、可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料；        

6、软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考；  

7、内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。           

8、强大的软件功能： 界面友好，操作简便，用户点击几下鼠标就可以完成 测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大，可 同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的 厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材料的光学常数数据。 用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。                             

9、仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带 的光纤适配器 （如图所示） 连接到带 C-mount 适用于微区（>10 μm，与显微 镜放大率有关） 薄膜厚度的显微镜 （显微镜需另配） ，就可以使本测量仪测 量。                                                               

技术参数

1、厚度范围：  20nm-50um （只测膜厚）， 100nm-25um  （同时测量膜厚 和光学常数 n ，k），根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。

2、准确度：    <1nm 或<0.5%

3、重复性：    0.1nm

4、波长范围：  380nm-1000nm

5、可测层数：  1-4 层

6、样品尺寸：  样品镀膜区直径>1.2mm

7、测量速度：  5s-60s

8、光斑直径：  1.2mm-10mm 可调

9、样品台：  290mm*160mm

10、光源：  长寿命溴钨灯（2000h）

11、光纤：  纯石英宽光谱光纤

12、探测器：  进口光纤光谱仪

13、电源： AC110V-240V ，50HZ-60HZ

产品规格

尺寸： 300mm*300mm*350mm，重量： 18kg