TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪

TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪

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具体成交价以合同协议为准
2024-03-07 20:49:35
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北京鸿瑞正达科技有限公司

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产品简介

产品简介:TFMS-LD是一款反射光谱薄膜测厚仪,可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度,其测量膜厚范围为15nm-50um,仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm

详细介绍

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产品简介:TFMS-LD 是一款反射光谱薄膜测厚仪,可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度,其测量膜

厚范围为15nm-50um仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反

纤反射探头。仪器尺寸小巧,方便于在实验室中摆放和使用。

 

产品型号

TFMS-LD 反射光谱薄膜测厚仪

测量膜厚范围

15nm-50um

光谱波长

400 nm - 1100 nm

主要测量透明

或半透明薄膜

厚度

img3氧化物

氮化物

光刻胶

半导体(硅,单晶硅,多晶硅等)

半导体化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS 等)

硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)

聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

金属膜

 

特点

测量和数据分析同时进行,可测量单层膜,多层膜,无基底和非均匀膜

 

 

包含了 500 多种材料的光学常数,新材料参数也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 

体积较小,方便摆放和操作

可测量薄膜厚度,材料光学常数和表面粗糙度

使用电脑操作,界面中点击,即可进行测量和分析

精度

0.01nm  0.01%

准确度

0.2%或 1nm

稳定性

0.02nm  0.02%

光斑尺寸

标准 3mm,可以小至 3um

要求样品大小

大于 1mm

分光仪/检测器

400 - 1100 nm 波长范围

光谱分辨率: < 1 nm

电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

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光源

5W 的钨卤素灯

色温: 2800K

使用寿命:1000 小时

反射探针

光学纤维探针, 400um 纤维芯

配有分光仪和光源支架

载样台

测量时用于放置测量的样品

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通讯接口

USB 接口,方便与电脑对接

TFCompanion

软件

强大的数据库包含两 500 多种材料的光学常数(n:折射率, K:消失系数)

 

 

 

误差分析和模拟系统,保证在不同环境下对样品测量的准确性

可分析简单和复杂的膜系

 

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设备尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg

 

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