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产品简介： EQ-TM106 膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理， 结合的频率测量技术， 进行膜厚的在线 监测。主要应用于 MBE 、OLED 热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率 进行实时监测。 EQ-TM106 膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出 PWM （脉冲宽度调制） 模拟量， 作为膜厚传感器使用， 与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间， 原理简单， 操作方便， 尤其适合于实验室中薄膜制备 过程的使用。
产品名称 | EQ-TM106 膜厚监测仪 |
产品型号 | EQ-TM106 |
主要特点 | 1 、本机可与计算机连接。 2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、 频率、 PWM 控制输出的百分比等工作状态。 3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数 等进行设置， 并可将所测相关数据写入 Excel 文件。 4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。 |
技术参数 | EQ-TM106-1 监测组件 1、电源： DC 5V（±10%），电流 400mA 2、频率分辨率： ±0.03Hz 3、膜厚分辨率： 0.0136Å （铝） |
4、膜厚准确度： ±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度 5、测量速度： 100ms-1s/次，可设置 6、测量范围： 500000Å （铝） 7、标准传感器晶体： 6MHz 8 、计算机接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可 设置，数据位： 8，停止位： 1，校验：无） 9、模拟输出： 8 比特分辨率， PWM 脉宽调制输出（集电极开路或内部 5V 输出） 10、工作环境： 温度 0-50℃， 湿度 5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm | |
EQ-TM106-2 显示仪 1、输入电源： AC 220V±10% 2、输出电源： DC 5V 3A | |
3、显示器： 12×2 数码管与 LED 4、通讯端口： RS-485（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可设置，数据位： 8 位，停止位： 1 位，奇偶校验：无） 5、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm | |
EQ-TM106-3 探头 1、适用晶片频率： 6MHz | |
2、适用晶片尺寸： Ø14mm 3、安装法兰： CF35 4、冷却水管： Ø3mm ，长度 300mm 、500mm 、1000mm 5、冷却水压： <0.3MPa 6、气动挡板路管： Ø3mm 7、压缩空气压力： <0.8MPa ，>0.5MPa |
8、烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃ 9、电气接口： BCN 插座 | |||
标准配件 | 1 | EQ-TM106-1 监测组件 | 1 个 |
2 | EQ-TM106-2 显示仪 | 1 台 | |
3 | EQ-TM106-3 探头 | 1 个 | |
