品牌
经销商厂商性质
北京市所在地
产品简介： GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理（直流二极溅射镀膜 是指在真空环境中利用粒子轰击靶材产生的溅射效应， 使得靶材原子或分子从固体表面射出， 在基片上沉 积形成薄膜的过程。属于物理 气相沉积（PVD）制备薄膜技术的一种。 ）设计而成的简单、可靠、经济的 镀膜设备。GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台 可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此， 适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电 极的制作。该设备体积小，节省实验室空间，操作简单，尤其适合实验室使用。
产品名称 | GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪 |
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16-3 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃， 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通风装置：不需要 |
主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体，以获得好的镀膜效果。 |
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 |
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀 纯净。 | |||
6 、已通过 CE 认证。 | |||
技术参数 | 1、靶直径： Ø45mm 2、真空室： Ø160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 个 | ||
5 、max 电流： 50mA 6、可设定极间： 900s 7、微型真空气阀： 连接 Ø3mm 软管 8、极限电压： 1600V DC 9、机械泵： 2L/s | |||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1 个 |
2 | 铜靶材 | 1 个 | |
3 | 铝靶材 | 1 个 | |
4 | 进气针阀 | 1 个 | |
5 | 保险丝 | 2 个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
