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产品简介： VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型） ，控制面板采 用触摸屏模式， 基片极限尺寸为 2″ ，放置样品的直径为 Ø50mm ，加热温度达 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等 离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材， 不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台， 能够依次在同 一样品上涂覆三层薄膜， 适用于实验室制备复膜的样品。 VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪采用 PLC 控制面 板对设备进行控制， 操作方便直观。该机设备小巧， 占用实验室空间少， 操作简单， 应用广泛。因此被广 泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
产品名称 | VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪 |
产品型号 | VTC-16-3HD 3 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃， 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1 、PLC 控制面板， 4.3″触摸屏， PID 控温方式。 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。 |
3、可与真空泵、 不锈钢波纹管 KFD25 快速卸装卡箍连用。 4 、已通过 CE 认证。 |
技术参数 | 1、输入功率： 110V/220V 通用 2000W （含真空泵） 2、输出功率： 1600VDC 50mA（max 电流） |
3、石英罩： Ø160mm×120mm 4、样品台： Ø50mm （可选购加热型样品台，极限温度可到500℃； 极限溅射时间不可超过5min） 5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵 6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径 Ø47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可溅射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可溅射氧 化物、半导体、一些轻金属、 Al 、Zn 、C 等 | |
产品规格 | 尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg |
可选配件 | 1 、KF25 真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（ 120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 |
