产品名称

GSL-1800X-ZF2 蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF2

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、工作台：落地式， 占地面积 2m2 以上

4、通风装置：需要

主要特点

1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台 A3 打印机相仿。

2 、采用电阻式双蒸发源结构， 可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安 装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。

3 、配有 0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。

4 、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

5 、可将采集到的镀膜数据保存到 U 盘，便于用户分析控制（选配） 。

6 、本机将所有功能设计成标准化模块， 根据用户不同的需求对相应模块进行组合， 以达到极 佳的镀膜环境，并便于用户维修与维护。

7、操作控制采用 7 英寸 TFT 显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

技术参数

1 、电源： AC220V    1500W

2、蒸发电源功率： 1000W    5V    200A

3、蒸发电极有效距离： 44mm

4、样品台： Ø120mm  （可旋转）

5、膜厚测量精度： 0.1 Å 或 0.01Å  （可选配高精度型）

6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产 110 机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）

7、极限真空度： >3.0×10-3torr （扩散泵）、 3.0×10-4torr  （分子泵）（不建议使用扩散泵）

8、工作真空度： 5.0×10-3torr （加热为 100℃-1）

9、真空接口： KF40

10、使用环境： 温度 35℃，湿度<75%  （相对湿度）不结露，海拔<1500m

产品规格

尺寸： 440mm×240mm×260mm  （不包括真空机组）；重量： 约47kg  （不包括真空泵）