产品名称

钙钛矿镀膜机

主要特点

1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。

2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品， 烘烤加热温度可达 180℃。

3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。

技术参数

1、镀膜室：不锈钢材料，采用方形前后开门结构，内带有防污板， 腔室尺寸约为 600mm×

450mm×450mm

2、真空排气系统：采用分子泵+机械泵系统

3、真空度：镀膜室极限真空≤6×10-4Pa

4、系统漏率：≤ 1×10-7Pa

5、蒸发源：安装在真空室的下底上； 有机蒸发源 4 个、 容积 5ml ，2 台蒸发电源，可测温、

控温， 加热温度 400℃， 功率 0.5KW；无机蒸发源 4 套、 容积 5ml ，2 台蒸发电

源， 加热电流 300A ，功率 3.2KW；蒸发源挡板采用自动磁力控制方式控制其开

启

6、样品架：安装在真空室的上盖上， 可放置 Ø120mm 的样品、载玻片， 旋转速度 0-30rpm

7、加热温度： RT-180℃，测温、控温

8、膜厚控制仪：石英晶振膜厚控制仪， 膜厚测量范围 0-999999Å