产品名称

GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF4

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃， 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、工作台：落地式， 占地面积 2m2 以上。

4、通风装置：需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔体设有 1 个 KF40 旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提高效率）、 1 个 CF150 闸板阀

（直接与分子泵相连） 、1 个 KF16 法兰（安装电阻规） 、6 个 CF35 法兰（ 1 个安装电离规， 1 个安装 2 芯电极， 1 个安装膜厚仪）

3 个备用。

4、在腔体底部配有 5 个水冷电极， 可支持 4 个蒸镀加热舟。

5、样品台安装在腔体的顶部。

6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪， 膜厚测量分辨率（铝） 为0.1Å。

7、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入： 单相 AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW （不含真空泵）

2、蒸发输出： 电压 AC 0-8V 连续可调，极限蒸发电流 200A，极限蒸发功率<1.6KW

3、真空腔： Ø300mm （内径）× 400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理

4、观察窗： Ø100mm，采用专用密封圈密封

5、真空泵：高抽速涡轮分子泵， 抽速600L/s

6、真空度： 8.0x10-4Pa

7、极限真空 8.0x10-5Pa

8、漏率： 6.7×10-8Pa ·L/S

9、样品台：φ 120

10、蒸发舟与样品台间距： 150-210mm

11、冷却水需量： 15L/min

产品规格

尺寸： 900mm×1100mm×1800mm；重量： 230kg