产品名称

VTC-600-3HD 三靶磁控溅射仪

产品型号

VTC-600-3HD

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带 Ø6mm 双卡套接头）及减压阀

4、工作台： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点 

1 、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导 电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任何调换）。

        2、可制备多种薄膜，应用广泛。

        3、体积小，操作简便。

       4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。

       5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。

1、电源电压： 220V    50Hz

2、总功率：＜2.5KW

3、极限真空度： < E-6mbar  （配合本公司设备使用可达到E-5mbar）

4、工作温度： RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）

5、靶枪数量： 3 个

6、靶枪冷却方式：水冷

7 、靶材尺寸： Ø2″ ，厚度 0.1mm-5mm  （因靶材材质不同厚度有所不同）

8、直流溅射功率： 500W （可选）

9、射频溅射功率： 300W/500W （可选）

10、载样台： Ø140mm

11、载样台转速： 1rpm-20rpm 内可调

12、保护气体： Ar 、N2 等惰性气体

13、进气气路： 质量流量计控制 2 路进气， 1 个流量为 100 SCCM ，1 个流量为 200 SCCM

产品规格

主机尺寸： 500mm ×560mm×660mm ，整机尺寸： 1300mm ×660mm×1200mm；

重量： 160kg

标准配件

1

直流电源控制系统

2 套

2

射频电源控制系统

1 套

3

膜厚监测仪系统

1 套

4

分子泵（德国进口）

1 台

5

冷水机

1 台

6

冷却水管（Ø6mm）

4 根

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材