产品型号

GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃， 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通风装置：不需要

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体，以获得镀膜效果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀 纯净。

6 、已通过 CE 认证。

技术参数

1、靶： Ø45mm

2、真空室： Ø160mm×120mm

3、真空度：≤4×10-2mbar

4、靶位： 3 个

5、电流： 50mA

6、可设定最长时间： 900s

7、微型真空气阀： 连接 Ø3mm 软管

8、电压： 1600V    DC

9、机械泵： 2L/s

标准配件

1

金靶材

1 个

2

铜靶材

1 个

3

铝靶材

1 个

4

进气针阀

1 个

5

保险丝

2 个

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材