压电·二维/三维扫描运动 Sxxx.XYZ.C

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um；200 um × 200 um × 200 um

• 外形尺寸， 55 mm × 55 mm × 40 mm；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；

压电多维度扫描台，三维扫描运动，兼容无磁高真空——详细参数：

压电多维度扫描台，三维扫描运动，兼容无磁高真空——尺寸图：

多场科技“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含：

S —— 扫描标准系列；

SD —— 高动态系列；

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。