压电·三维扫描运动 SH30.xyz.C

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制解决方案

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um；

• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；

• 闭环分辨率优于 0.3 nm；

• 最大负载10 kg；

• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；

XYZ三维压电扫描台，高负载，兼容高真空——详细参数：

XYZ三维压电扫描台，高负载，兼容高真空——尺寸图：

多场科技“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含：

S —— 扫描标准系列；

SD —— 高动态系列；

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。