美国MTI真空层压热压机晶圆粘合薄膜转换等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 特点介绍

YLJ-VHP5 是一款真空热层压热压机，专为晶圆粘合、薄膜转换和 LCP 层压而设计，加热面积为 100 毫米 x 100 毫米或 300 毫米 x 300 毫米。

它的最大工作温度为 500 ºC，最大压力为 20-40 公吨。

美国MTI真空层压热压机晶圆粘合薄膜转换等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 规格参数

产品编号

YLJ-VHP5-4

YLJ-VHP5-12

YLJ-VHP-16

电压和功率 AC 208 - 240 V，50/60 Hz

单相， 2,000 瓦 AC 208 - 240 V，50/60 Hz，

单相， 5,000 W AC 208-240 V，50/60 Hz，

单相，6,500 W

供暖设备面积 100x100 毫米（约 4x4 英寸） 300 x 300 毫米 (12x12") 400 x 400 毫米 (~16 x16")

最多可开启两个门板 30 毫米 40 毫米 40 毫米

腔室尺寸和容量 5 25 长 x 480 宽 x 450 高 (毫米)

~ 75 升

614 长 x 574 宽 x 514 高 (毫米)

~ 170 升

700 长 x 650 宽 x 550 高 (毫米)

~250 升

热压板最大压力

500°C 时 10 公吨  

室温时 20 公吨   500°C 时 20 公吨

室温时 30 公吨    500°C 时 30 公吨

室温时 40 公吨