日本unozawa干式真空泵用于清洁工艺非腐蚀 TS系列 特点介绍

这是一款“用于清洁工艺的ECO干式真空泵”，具有低功耗和出色的耐用性。

非常适合需要清洁真空、无油反扩散和高可靠性的非腐蚀性气体应用。

日本unozawa干式真空泵用于清洁工艺非腐蚀 TS系列 规格参数

・低功耗

由于是多级罗茨型，因此可以大幅降低功耗。

・高耐久性

由于是带有回流冷却机构的多级罗茨型，因此具有优异的耐久性。

・泵内不会产生清洁真空油的反扩散或灰尘。

・低噪音、低振动

转子经过严格平衡，标配排气消音器。

・散热性低

由于采用水冷方式，因此采用向周围散发较少热量的结构。

・采用密封结构密封电机，泄漏率小于E10 - 6Pa・m3/sec。

・维护间隔长

由于气体接触部分没有滑动部件，因此可以长期连续运行。

・真空蒸镀装置、溅镀装置、

负载锁合

装置、等离子清洗装置

、硅单晶拉制装置、电子

束加工机

、气体循环/回收装置

、气体置换

装置、真空成型装置

、真空吸附输送装置

、真空包装装置

、真空脱气装置等消泡

、真空冷却

、分析设备、理化实验设备

、低温泵粗抽及再生

、各类粗抽、TMP背泵

、等洁净真空设备

请将此真空泵用于清洁真空泵应用。

不得排放含有腐蚀性气体、有毒气体、易爆、溶剂等的气体。