日本IKC手动型波纹管式直导入机超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 特点介绍

直进机是一种使真空中的设备、设备在保持真空状态的情况下从大气侧直线前进的产品。用于升降基板台、输送晶圆等。

入江工研的直线送料机有波纹管密封型和磁力密封型两种类型，并配有手动和自动驱动系统，提供满足各种需求的产品。

我们的焊接波纹管是内置的，行程标准化为 10 至 200 毫米。

驱动部分密封采用焊接波纹管，因此可用于超高真空领域。

它的结构极其简单，注重功能，使其体积小、重量轻。手动型设计可承受250℃烘烤温度。

波纹管式直导入机手动型(ILD-M)

波纹管式直导入机自动型（ILD-A）

波纹管式紧凑型直线送料机（ILC）

日本IKC手动型波纹管式直导入机超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 规格参数

ILD-34MILD-70MILD-114M

型号后缀30 50 30 50 100 50 100 150 200 

行程（毫米）30 50 30 50 100 50 100 150 200 

连接法兰CF34 CF70 CF114 

驱动方式手动的 

泄漏量1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 

烘烤温度250℃ 

主要使用材料SUS304