日本IKC驱动装置波纹管式直导入机自动型 ILD-70A / ILD-114A系列 特点介绍

直进机是一种使真空中的设备、设备在保持真空状态的情况下从大气侧直线前进的产品。用于升降基板台、输送晶圆等。

入江工研的直线送料机有波纹管密封型和磁力密封型两种类型，并配有手动和自动驱动系统，提供满足各种需求的产品。

我们的焊接波纹管是内置的，行程标准化为 10 至 200 毫米。

驱动部分密封采用焊接波纹管，因此可用于超高真空领域。

它的结构极其简单，注重功能，使其体积小、重量轻。手动型设计可承受250℃烘烤温度。

1、驱动装置密封采用入江工研生产的焊接波纹管，

可用于超高真空领域。

2. 备有行程100mm、150mm的各种尺寸（CF70、114、152、203）。

3、电机标配可逆电机。（步进电机等请另行咨询）

4. 标准配备限位开关。电位计可作为位置检测的选件

日本IKC驱动装置波纹管式直导入机自动型 ILD-70A / ILD-114A系列 规格参数

ILD-70AILD-114A

型号后缀50 100 150 50 100 150 

行程（毫米）50 100 150 50 100 150 

连接法兰CF70 CF114 

驱动方式电机驱动 

泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下 

烘烤温度- 

主要使用材料SUS304 

波纹管材质SUS316L