日本IKC波纹管式紧凑型直线送料机导入机 ILC-34-10/34-15/34-20系列 特点介绍

直进机是一种使真空中的设备、设备在保持真空状态的情况下从大气侧直线前进的产品。用于升降基板台、输送晶圆等。

入江工研的直线送料机有波纹管密封型和磁力密封型两种类型，并配有手动和自动驱动系统，提供满足各种需求的产品。

我们的焊接波纹管是内置的，行程标准化为 10 至 200 毫米。

驱动部分密封采用焊接波纹管，因此可用于超高真空领域。

它的结构极其简单，注重功能，使其体积小、重量轻。手动型设计可承受250℃烘烤温度。

1. 内置入江工研制造的焊接波纹管，标准化行程为10mm、15mm、20mm。

2. 比我们的波纹管式直导入机（ILD系列）更加紧凑。

日本IKC波纹管式紧凑型直线送料机导入机 ILC-34-10/34-15/34-20系列 规格参数

ILC-34-10ILC-34-15ILC-34-20

中风10毫米 15毫米 20毫米 

连接法兰CF34 

驱动方式手动的 

泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下 

烘烤温度250℃ 

主要使用材料SUS304 

波纹管材质SUS316L 

直进机是一种使真空中的设备、设备在保持真空状态的情况下从大气侧直线前进的产品。用于升降基板台、输送晶圆等。

入江工研的直线送料机有波纹管密封型和磁力密封型两种类型，并配有手动和自动驱动系统，提供满足各种需求的产品。

我们的焊接波纹管是内置的，行程标准化为 10 至 200 毫米。