日本musashino超高真空旋转导入机分辨率高 ICF034/ICF070 特点介绍

采用铝合金制成，体积小，重量轻。

铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。

磁铁没有气体排放。

规格与超高真空兼容。

高精度和高分辨率（极低的背隙）。

配有夹紧机构。

■ Made of aluminum alloy; compact, and light-weight design.

■ Ion plating applied for aluminum flange after mirror finishingbased on ICF standard.

■ No Outgassing from magnet.

■ Specifications suitable for Ultra-High Vacuum.

■ High precision and high resolution. （Very little backlash）

■ A clamp is included.

日本musashino超高真空旋转导入机分辨率高 ICF034/ICF070 规格参数

额定尺寸真空连接法兰真空连接法兰最大传递转矩Maxi母传动扭矩真空密封方式真空密封类型最小读取单位Minimu m分辨率070 034ICF07010Nm磁铁耦合器磁铁耦合1.3 10-11Pa·m3/sec或更少5.120°C或更小ICF0342Nm磁铁联接器磁铁联接头1.3×10-11Pa·m3/sec或更少5.120摄氏度或更低（1x 10-10Torr·R/sec或更少）（1x 10-10Torr·R/sec或更少）

采用铝合金制成，体积小，重量轻。

铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。

磁铁没有气体排放。

规格与超高真空兼容。

高精度和高分辨率（极低的背隙）。

配有夹紧机构。