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CVD系统(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空连接配件)1.包含一款通过CE认证的高温管式炉,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量计控制系统 3.包含一款OYS-300F风冷分子泵机组参数表。
CVD系统(高真空)GYS-1500C-II+GYS-3Z+OYS-300F+(真空连接配件)(CVD系统高真空)
一款通过CE认证的高温管式炉,其炉管采用的高纯氧化铝刚玉管,加热元件为硅碳棒。随身带有两个真空密封法兰(法兰上已安装机械压力表和不锈钢截止阀),控温方式采用50段程序设置,最高温度可达1500℃。
产品型号 | 管 式炉 GYS-1500C-II(φ60、φ80、φ100) |
主要产品参数 | 电源:380V 50/60HZ 额定功率:11 KW 最高工作温度:1500℃(<0.5h) 连续工作温度:1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min; 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度:600mm; 双温区长度300mm+300mm |
炉体结构 | 炉体特点:采用双层壳体结构并带有风冷系统;炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,能减少能量损失 |
加热元件 | 硅碳棒 |
炉管尺寸 | 高纯石英管φ60、φ80、φ100(备注:炉子在使用前,炉管两端先放入管堵) |
外形尺寸 | 1450mm(L)*500mm(W)*820mm(H) |
重量 | 150KG |
温控系统 | 控温方式:包含一款YD858型温度控制器;PID控制和自整定调节,智能化50段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度:±1℃ |
真空密封 | 标配:一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈 选配:为了更快的获得较高的真空度,建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计 |
法兰接口 | 为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接;多种接头可选,具体请咨询我公司销售经理 |
真空度 | 采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr;如您想获得更高的真空度(<10-5torr or better)可选国产或进口高真空机组 |
可选 | 本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8*105至1125torr,不需因测量气体种类不同而需要转换系数 |
认证标准及核心零部件 | CE、UL等认证,核心零部件有ABB、欧米茄、东明等 |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 特别声明:耗材部分如加热元件,石英管,坩埚等不包含在内 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
注意事项 | 炉管内气压不得高于0.02MPA;由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) 气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
质子供气系统GYS-3Z参数表
GYS-3Z是一款低成本的流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状本示都集中在一个7寸的LCD触摸屏上,便于操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验。
产品型号 | GYS-3Z |
产品参数 | 电源:220V 50/60HZ 额定功率:23 W 流量计范围:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM; 有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接 压力表量程:-0.1~0.15MPa 混气罐尺寸: φ80*120mm |
气口/阀门 | 内部连接管道为Ø6.35 |
产品尺寸 | 外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm |
重量 | 约30KG |
产品特点 | 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸 |
一、OYS-300F风冷分子泵机组参数表产品简介
此机组为风冷机组无需冷却,本机组极限真空5*10-5Pa ,充分考虑到实验室及一些研究院所的使用条件,大大方便了客户的使用范围,本产品为一键启动模式,大大降低了对使用者的专业要求。JTFB-300F分子泵为抗冲击型。
二、技术资料
名称 | 详情 | |
主要参数 | Ø 电源:220V 50/60HZ Ø 额定功率:2KW Ø 工作原理:前级泵次级泵交互泵组 Ø 最高真空度:5*10-5Pa Ø 启动方式:一键启动 | |
真空分子泵 | Ø 型号:JTFB-300F; Ø 抽速:300L/S; Ø 其他:刀口法兰、风扇、线缆等 | |
前级泵(机械泵) | Ø 型号:TRP-12; Ø 抽速:12立方/小时双级旋片 | |
分子泵控制器 | Ø 一键式启动; Ø 控制器集成电源; Ø 带频率显示控制器; | |
降温模块设备 | 风扇风冷模组 | |
线缆 | 2米长驱动线缆及电源线缆 | |
复合真空计 | Ø 型号:ZDF5227AX Ø 测量范围:1.0×105~1*10-5Pa Ø 其他:含真空计数据线缆等 | |
泵组连接管 | 不锈钢波纹管,2根 | |
气路控制 | Ø 高真空挡板阀 Ø 型号:GD-J25/KF | |
泵组壳体 | 风冷泵组专用机架 | |
售后 | Ø 质保期一年,终身维护,24小时在线服务 Ø 特别提示:耗材部分如加热元件、坩埚等不包括在内 |