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CVD系统管式炉OYS-1200C-Ⅲ+GYS-4F+JXB-12+真空连接配件CVD系统管式炉
OYS-1200C-Ⅲ——翻盖炉
一款三温区开启式管式炉,其最高温度可以达到1200℃(1200℃<1H)。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度±1℃。
技术资料 | |
产品型号 | 翻盖炉 OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100 |
主要产品参数 | 电源:220V 50/60Hz 额定功率:7.1 KW 最高工作温度:1200℃(<0.5 h) 连续工作温度:1100 ℃ 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度:加热区长度:900mm 热电偶:K型 外形尺寸:1675mm*645mm*865mm |
炉体结构&温控 | 炉体结构&温控:采用双层壳体结构,并带有风冷系统;炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料,减少能量损失;内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高反射率及设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命;三个温区分别有三个独立的温控系统控制;包含一款YD858型温度控制器;PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能;控温精度±1℃;默认DB9PC通信连接端口;可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据 |
加热元件 | 铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb |
炉管尺寸 | 石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100 |
真空密封 | 标配:一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈; 选配:为了更快的获得较高的真空度,建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计; |
法兰接口 | 为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接;多种接头可选,具体请咨询我公司销售经理; |
真空度 | 采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr;如您想获得更高的真空度(<10-5torr or better)可选国产或进口高真空机组; |
可选 | 本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8*105至1125torr,不需因测量气体种类不同而需要转换系数 |
认证标准及核心零部件 | CE、UL等认证,核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件; |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 |
注意事项 | 炉管内气压不得高于0.02MPA;由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全; 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等);气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
免责声明 | 本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺,我司会不定期完善产品,恕不另行通知,请您见谅。 |
浮子流量控制系统GYS-4F
GYS-4F是一款三通道混气系统(1单独3混气),用于情性气体的控制,可用于管式炉、手套箱、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等
技术资料 | |
产品型号 | 供气系统 GYS-4F |
产品特点 | 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。 尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 显示流量准确,可有效控制气体的消耗量 设备底部有滚动轮,方便移动使用方便,无需通电 |
产品参数 | 浮子流量计量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min;25-250mL/min; 精度:4% 压力表量程:-0.1-0.15MPa 通气管道: φ6.35mm的聚四氟管 选配:浮子流量计量程可选配,5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。 |
混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐,可更好的混合气体 混气罐尺寸:直径76*长154mm |
气口/阀门 | 背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头,进气口通过四氟管连接气瓶,出气口通过四氟管连接到设备的进气口 两个通道气体进入混气罐混气,一个气体通道独立 前面板的四个不锈钢针阀控制气体的进出,独立通道的进出气不受针阀控制。 |
产品尺寸 | 外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm 重量:约30Kg |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 |
免责声明 | 本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺,我司会不定期完善产品,恕不另行通知,请您见谅 |
真空系统JXB-12参数表
JXB-12是一套低真空机组,其极限真空度为10-3torr。内部安装有双旋机械泵TRP-12配套使用,其接口为KF25接含有电阻真空计DGR-52和连接管道接头等。
技术资料 | |
产品型号 | 真空系统JXB-12 |
产品特点 | 610*610mm的承重台面,可配合微元素管式炉使用,节约空间。 极限真空度可达到10-3torr,满足大多数真空实验要求。 滚轮上装有制动装置,提高安全性。 |
产品参数 | 电源:AC220V 50/60HZ 功率:1KW 抽气速率:3L/S 极限真空度:1.0*10-1Pa |
电阻真空计 | 电源:AC220v 50HZ 功率:≤6W 测量范围:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa 有效范围:1.0*100Pa~1.0*104Pa 测量环境:非腐蚀性密封容器 测量精度:<±30% 显示方式:LCD数显 |
高真空手动挡板阀 | 高真空专用不锈钢阀门,采用氟胶圈密封,KF25卡箍连接 连接口:两个KF25接口。 漏率达5*10-9Pam3/s。 |
产品尺寸 | 外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm 重量:约50Kg |
认证标准及核心零部件 | CE、UL等认证,核心零部件有ABB、欧 米茄、东明等 |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 |
免责声明 | 本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺,我司会不定期完善产品,恕不另行通知,请您见谅 |
真空连接配件:(选购)
KF25卡箍
KF25盲板
KF16卡箍
KF16盲板
不锈钢波纹管KF25口
手动真空挡板阀KF25口
电阻真空计:测量范围:1.0x105pa——1.0x10-1pa
INFICON 皮拉尼电容膜片真空计:测量范围:3.8x10-5- 1125Torr