PECVD系统炉
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OYS-1200C-ⅢPECVD系统炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-28 14:31:56
150
属性:
产地类别:国产;加热方式:铁铬铝合金丝;价格区间:面议;控温精度:±1℃;升温速度(达到最高温):≤5/min;仪器种类:管式炉;应用领域:医疗卫生,地矿,冶金,航天,综合;最大功率:7.1kW;最高温度:1200℃;长期使用温度:1100℃;可选管径:φ50、φ60、φ80、φ100、φ130;
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产品属性
产地类别
国产
加热方式
铁铬铝合金丝
价格区间
面议
控温精度
±1℃
升温速度(达到最高温)
≤5/min
仪器种类
管式炉
应用领域
医疗卫生,地矿,冶金,航天,综合
最大功率
7.1kW
最高温度
1200℃
长期使用温度
1100℃
可选管径
φ50、φ60、φ80、φ100、φ130
关闭
合肥新元素科技装备有限公司

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产品简介

PECVD系统炉,全称等离子增强化学气相沉积炉,是一种基于等离子体化学气相沉积技术的薄膜沉积设备。其工作原理主要是在低气压下,利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电,使样品升温到预定的温度。随后通入适量的工艺气体,这些气体经过一系列化学反应和等离子体反应后,最终在样品表面形成固态薄膜。

详细介绍

CVD系统(高真空)PECVD系统炉

OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空连接配件)

OYS-1200C-Ⅲ——翻盖炉

一款三温区开启式管式炉,其最高温度可以达到1200℃(1200℃<1H)。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。CVD系统(高真空)PECVD系统炉对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度±1℃。

技术资料

产品型号

翻盖炉  OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130)

主要产品参数

电源:220V  50/60Hz

额定功率:7.1 KW

最高工作温度:1200℃(<0.5 h)

连续工作温度:1100 ℃

推荐升温速率:≤10℃/min

加热区长度:加热区长度:900mm(三个温区段都为300mm)

热电偶:K型

外形尺寸:1675mm*645mm*865mm

炉体结构&温控

炉体结构&温控:采用双层壳体结构,并带有风冷系统;炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料,减少能量损失;内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高反射率及设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命;三个温区分别有三个独立的温控系统控制;包含一款YD858型温度控制器;PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能;控温精度±1℃;默认DB9PC通信连接端口;可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

加热元件

铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb

炉管尺寸

石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

真空密封

标配:一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈

选配:为了更快的获得较高的真空度,建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计

法兰接口

为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接;多种接头可选,具体请咨询我公司销售经理

真空度

采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr;如您想获得更高的真空度(<10-5torr or better)可选国产或进口高真空机组

可选

本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8*105至1125torr,不需因测量气体种类不同而需要转换系数

认证标准及核心零部件

CE、UL等认证,核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件

售后

质保期一年,终身维护;24小时在线服务

注意事项

炉管内气压不得高于0.02MPA;由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等);气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免责声明

本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺,我司会不定期完善产品,恕不另行通知,请您见谅


质子供气系统GYS-3Z参数表是一款低成本的流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状本示都集中在一个7寸的LCD触摸屏上,便于操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验。


一、OYS-300F风冷分子泵机组参数表产品简介

此机组为风冷机组无需冷却,本机组极限真空5*10-5Pa ,充分考虑到实验室及一些研究院所的使用条件,大大方便了客户的使用范围,本产品为一键启动模式,大大降低了对使用者的专业要求。JTFB-300F分子泵为抗冲击型。

二、技术资料

产品型号

GYS-3Z

产品参数

电源:220V 50/60HZ

额定功率:23 W

流量计范围:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM

有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接

压力表量程:-0.1~0.15MPa

混气罐尺寸: φ80*120mm

气口/阀门

内部连接管道为Ø6.35

产品尺寸

外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

重量

约30KG

产品特点

适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管

气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便

采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸






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