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微小气体流量计
| 产品特性： | ||
◆无可移动部件 | |||
| ◆支持多种通讯协议 | |||
| ◆容易安装及维护 | |||
| ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可测多种气体 | |||
| ◆一体液晶显示和按键操作 | |||
| ◆内置温度和压力传感器 | |||
| ◆同时显示气体瞬时流量和累积流量 | |||
应用领域： | |||
技术参数： | ——分析仪器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量规格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技术 | ——气相色谱分析 |
——激光焊机 | ——过程自动化 | ||
准确度： | ±0.5%F.S. | ——真空镀膜 | ——燃料电池 |
| 重复精度： | ±0.2%F.S. |
产品尺寸： | |
使用温度： | -20~65℃ | ||
| 使用湿度： | 0~98%（⽆凝露） | ||
Max耐压： | 3MPa | ||
| 响应时间： | <1s | ||
| 供电电压： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <5W | ||
| 通讯方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 气路部件材质： | SUS304、SUS316L | ||
密封件材质： | 氟橡胶 | ||
气路接头： | 快拧、快插、卡套、VCR | ||
外接显示器尺寸： | |||
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电气连接：DB9 | |||
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产品造型： | |||
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| 气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置，爱拓利电子科技有限公司作为气体质量流量控制器厂家，生产和出口流量控制器,热式流量计,气体流量计,质量流量计,质量气体流量计,氧气流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计,旋进旋涡流量计 微小气体流量计 | |||
