爱拓利 品牌
生产厂家厂商性质
苏州市所在地
爱拓利具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件研发水平， 拥有自主知识产权的气体质量流量计及控制器核心部件（高精度气体质量流量传感器和高稳定性微型比例阀、全金属密封比例阀）及生产设备，是国内少数能够全面自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业之一。“以关键技术自主研发为核心使命、以市场为导向”，爱拓利致力于为用户提供精准、稳定、可靠的标准化产品、定制化服务和解决方案。
MFM330 热式气体流量计传感器基于毛细管柱热式传感器，毛细管传感器管通过气体的热容量来测量其内部质量流量，气体的热量将热量从上游电阻温度检测器绕组带到下游绕组，二者都在传感器管的外部。
需要预热： 5min 内达到 95% 流量精度，最长预热30min
| 产品特性： | ||
◆无可移动部件 | |||
| ◆支持多种通讯协议 | |||
| ◆容易安装及维护 | |||
| ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可测多种气体 | |||
| ◆一体液晶显示和按键操作 | |||
| ◆内置温度和压力传感器 | |||
| ◆同时显示气体瞬时流量和累积流量 | |||
应用领域： | |||
技术参数： | ——分析仪器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量规格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技术 | ——气相色谱分析 |
——激光焊机 | ——过程自动化 | ||
准确度： | ±0.5%F.S. | ——真空镀膜 | ——燃料电池 |
| 重复精度： | ±0.2%F.S. |
产品尺寸： | |
流量测量范围： | 0.5%~100%F.S. |
| |
使用温度： | -20~65℃ | ||
| 使用湿度： | 0~98%（⽆凝露） | ||
Max耐压： | 3MPa | ||
| 响应时间： | <1s | ||
| 供电电压： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <1.2W | ||
| 通讯方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 气路部件材质： | SUS304、SUS316L | ||
密封件材质： | 氟橡胶 | ||
气路接头： | 快拧、快插、卡套、VCR | ||
外接显示器尺寸： | |||
 | |||
电气连接：DB9 | |||
 | |||
产品造型： | |||
 | |||
