• 介质要求

  洁净干燥气体
• 气体种类

  98+气体可选
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 测量范围

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范围

  1%-100% FS.（1:100）
• 准确度

  标准：±1% F.S.
• 高精度

  ±0.5%
• 重复精度

  ±0.2%F.S.
• 线性度

  ±0.2%F.S.
• 控制响应时间

  <3 秒
• 预热时间

  5 min（T95），30 分钟最佳
• 阀门

  常闭式
• 泄漏率

  1*10-11Pa.m³/sec He

机械特性

• 最大工作压力

  3 MPa（30bar）
• 工作压差范围

  0-1 MPa
• 工作温度范围

  -20~65℃（环境和气体）
• 温度范围

  0 ~ 98%无凝露
• 气路接头类型

  卡套、VCR、快插、快拧（可选）
• 气体接触材质

  氟橡胶、304/316不锈钢
• 密封材质

  氟橡胶 FKM
• 防护等级

  IP40
• 安装方式

  水平安装方向校准
• 固定孔

  M4 ↓ 5mm
• 重量

  0.96kg

电气和通讯

• 电气连接接口类型

  DB-9 公头
• 模拟信号

  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
• 输入输出阻抗

  输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ
• 模拟数据更新频率

  200Hz
• 数字信号

  Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN
• 通信速率

  9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用户可修改）
• 电源

  15-40 VDC，<200 mA
• 显示更新频率

  50Hz
• 模拟信号精度

  ±0.05%F.S.

• 标况

  20℃，1 atm
• 气体选择

  可选，具体参考说明书气体系数
• 软件

  Aitoly分阶流量软件

产品选型