MFC330-05E 气体质量流量控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330-05E 气体质量流量控制器依然能够保持稳定的流量控制。

MFC330工作原理

• 介质要求

  洁净干燥气体
• 气体种类

  98+气体可选
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 测量范围

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范围

  1%-100% FS.（1:100）
• 准确度

  标准：±1% F.S.
• 高精度

  ±0.5%
• 重复精度

  ±0.2%F.S.
• 线性度

  ±0.2%F.S.
• 控制响应时间

  <3 秒
• 预热时间

  5 min（T95），30 分钟最佳
• 阀门

  常闭式
• 泄漏率

  1*10-11Pa.m³/sec He

• 最大工作压力

  3 MPa（30bar）
• 工作压差范围

  0-1 MPa
• 工作温度范围

  -20~65℃（环境和气体）
• 温度范围

  0 ~ 98%无凝露
• 气路接头类型

  卡套、VCR、快插、快拧（可选）
• 气体接触材质

  氟橡胶、304/316不锈钢
• 密封材质

  氟橡胶 FKM
• 防护等级

  IP40
• 安装方式

  水平安装方向校准
• 固定孔

  M4 ↓ 5mm
• 重量

  0.96kg

尺寸

满量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~50 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.96 kg
	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 ↓ 0.197 in	≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm	138 mm	82 mm	38 mm	62 mm	30 mm	10 mm	10 mm	M4 ↓ 8 mm	≈1.3 kg
	5.43 in	3.22	1.496	2.220	1.181	0.393	0.393 in	M4 ↓ 0.31 in	≈2.88 lb

产品选型