直线度：用标记表示-。定义特定平行线与理想平行线之间变化量的形状公差。它由四个因素组成：外观（理想公差外观）、尺寸（尺寸公差值）、方向和位置。

平面度：平整度是指理想平面的误差与基板的宏观凹凸纵横比的相关性。准确的平面度测量是指将被测表面改变为其理想平面。平面度偏差是将被测表面与理想平面进行比较，两者之间的线值间距为平面度误差；或根据比表面上几个点的绝对高差的精确测量，计算以线值表示的平面度误差。

平行度：用标记//表示。平行度是指两个平面或两条直线的平行度。一个平面（边）与另一平面（边）平行面的相对性偏差控制值。平行度尺寸公差是一个固定项目的尺寸公差，它是被测因素相对性标准方位角的总允许偏差。因此，固定项尺寸公差具有操纵方向的功能，即操纵测量系数的方向，使其达到标准系数

垂直度：由标记表示⊥. 垂直度对平行线中间、大理石组件制造商平面图中间或平行线和平面图中间的垂直度进行评论。其中一条平行线或平面为评价标准，平行线可以是被测物体平行线或匀速直线运动轨迹的一部分，平面可以是平面的一部分，也可以是由被测物体轨迹生成的平面。