日立扫描电镜是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。SEM已广泛应用于材料、冶金、矿物、生物学领域。
通常人眼能够分辨的最小距离为0.2MM，为了观察分析更微小的细节，人们发明了各种观察仪器。为突破光学显微镜的分辨极限，人们想到用电子束做照明束，并与上个世纪三十年代制造出了第一台扫描电子显微镜。它的分辨率已经达到了原子水平（≈0.1um），比光学显微镜提高了近两千倍。
日立扫描电镜的应用：
1、扫描电镜观察大试样的原始表面
扫描电镜能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。
2、扫描电镜连续观察
扫描电镜进行从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。
3、扫描电镜观察试样表面形貌
扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。
4、扫描电镜观察纳米材料
所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，扫描电镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率。现已广泛用于观察纳米材料。
5、扫描电镜观察材料断口
扫描电镜所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。
