MEMS芯片研制 MEMS技术自晶体管时代的到来，在几十年的时间里迅速的发展壮大，将在微电子技术基础上发 展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体。从最初的压力传感器到 现在的汽车防撞气囊等先进的微型设备，已经普遍应用到各个领域，与传统的一些机械设备相比 ，MEMS具有不可超越的优势，诸如广义化特点、微型化特点、多样化特点、稳定性特点、集成化特 点、批量化特点。利用MEMS技术制造的微型仪器在环境检测、分析和处理方面大有作为，它们主要 是由化学传感器、生物传感器和数据处理系统组成的微型测量和分析设备,其优势在于体积小、价格 低、功耗小。MEMS技术的发展对信息技术产生了深远的影响。近年来，MEMS又逐渐向光通讯领域渗 透，形成了由微光学、微电子学、微机械学和材料科学相结合的全新研究领域，即微光电子机械系 统采用体微加工技术制作的各种微泵、微阀、微镊子、微沟槽和微流量计等器件适合于操作生物细 胞和生物大分子。由于MEMS器件的体积小，能够进入很小的器官和组织，同时又能进行细微精细的 操作，因此可以大大提高介入治疗的精度，降低医疗风险。利用MEMS技术制造的微型仪器在环境检 测、分析和处理方面大有作为，它们主要是由化学传感器、生物传感器和数据处理系统组成的微型 测量和分析设备,其优势在于体积小、价格低、功耗小和易于携带。
1、MEMS气体传感器芯片制备工艺研究 用传统的作用原理和某些新效应，优先使用晶体材料(硅、石英、陶瓷等)，采用先进的加工技 术和微结构设计，研制新型传感器及传感器系统，如光波导气体传感器、高分子声表面波和石英谐 振式气体传感器的开发与使用，微生物气体传感器和仿生气体传感器的研究。随着新材料、新工艺 和新技术的应用，气体传感器的性能更趋完善，使传感器的小型化、微型化和多功能化具有长期稳 定性好、使用方便、价格低廉等优点。
MEMS流量传感器芯片制备工艺研究
a)硅基多孔硅制备工艺研究；
b)低应力薄膜制备工艺研究；
c)金属电连接可靠性及稳定性研究；
d)半导体涂层制备及工艺集成方法研究；
2、MEMS气体流量传感器的研制 基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。当没 有气体流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场，当气体介质流过传感器芯片时，温度场 因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速 。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制 软件可精确测量实际的介质质量流量。
MEMS流量传感器芯片结构设计研究
a)材料优化筛选研究；
b)芯片温度分布和机械强度分析；
c)芯片热应力分析；
d)芯片高温界面稳定性研究；
