emmi微光显微镜是利用高增益相机/探测器来检测由某些半导体器件缺陷/失效发出的微量光子的一种设备。当对样品施加适当电压时，其失效点会因加速载流子散射或电子-空穴对的复合而释放特定波长的光子。这些光子经过收集和图像处理后，就可以得到一张信号图。撤去对样品施加的电压后，再收集一张背景图，把信号图和背景图叠加之后，就可以定位发光点的位置，从而实现对失效点的定位。
对于故障分析而言，微光显微镜是一种相当有用且效率高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP Recombination会放出光子(Photon)。举例说明:在P-N 结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N然后与P端的空穴(或N端的电子)做 EHP Recombination。
OBIRCH(光束诱导电阻变化)
光诱导电阻变化(OBIRCH)模式能快速准确的进行IC中元件的短路、布线和通孔互联中的空洞、金属中的硅沉积等缺陷。其工作原理是利用激光束在恒定电压下的器件表面进行扫描，激光束部分能量转化为热能，如果金属互联线存在缺陷，缺陷处温度将无法迅速通过金属线传导散开，这将导致缺陷处温度累计升高，并进一步引起金属线电阻以及电流变化，通过变化区域与激光束扫描位置的对应，定位缺陷位置。OBIRCH模式具有高分辨能力。
emmi微光显微镜特点：
①InGaAs采集相机，在近红外区域具备高灵敏度；
②分辨率高；
③多倍率图像采集：5X~100X；
④超低温电制冷降低暗电流带来的信噪；
⑤电制冷/空气冷却自由转换。
