紫外臭氧清洗机是一种结合了紫外线和臭氧的清洗设备，它利用紫外线和臭氧的协同作用，能够高效杀灭细菌和消除异味，同时去除物体表面的污垢和有机污染物。
相较于传统清洗方法，紫外臭氧清洗机不会产生有害物质，也不会对人体造成直接伤害(但需注意防护措施，避免紫外线和臭氧的直接暴露)。同时，它配置了安全传感器，能够避免臭氧环境污染和紫外线对操作者的暴露。在清洗过程中减少了水资源的浪费和化学物质的排放，对环境友好。此外，其自动化程度高，能够减少人工操作和劳动强度，从而在一定程度上节约了能源。
与干法清洗相比，紫外臭氧清洗对基板充电损伤小。
与湿法清洗相比，它不会产生有害的废水。此外，紫外臭氧清洗还能用于改变物体表面的疏水性，有助于部件和表面的化学改性。
该产品在LCD、OLED、印制电路板、大规模集成电路、半导体等生产过程中，紫外臭氧清洗机用于提高基体表面润湿性、增强粘合力、去除微粒、实现表面原子清洁度等。
