1、是一种无接触方式，可在空气中进行并且在清洗后不必进行干燥。
2、可清除物体表面的碳和有机污染物。
3、没有溶剂挥发及废弃溶剂的处理问题。
4、保证产品的高可靠性和高成品率。
5、产品表面清洗处理的均匀度一致。
6、由于光清洗是通过光敏、氧化反应去除物体表面的碳和有机化合物，所以容易发生氧化的表面不宜用光清洗方法，只适对表面污垢清洗、不适对污垢量较多的无机类污垢清洗。
紫外臭氧清洗机应用在生活中的作用：
1、在半导体生产中，硅晶片涂保护膜、铝蒸发膜前进行光清洗，可以提高粘合力，防止针孔、裂缝的发生。
2、光学玻璃经过紫外光清洗后，镀膜质量更好。
