紫外臭氧清洗机是一款用于无机基材(比如：石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等)表面有机污染物去除的表面清洗设备。
其工作原理是利用紫外线和臭氧的机理来清洗、除臭、消毒、杀菌。通过紫外线产生光解反应，产生的自由基和臭氧分子可以分解有机污染物，同时紫外线杀菌也能够杀死空气中的细菌和病毒。
加强日常紫外臭氧清洗机的维护可以有效预防故障的发生，延长设备的使用寿命。日常维护事项如下：
1、定期更换紫外灯管：建议每12个月或根据设备使用说明书中的建议时间进行更换。
2、定期清洗设备：保持电极的纯度和一定的湿度。
3、清洗器表面保持清洁：定期清洁设备外壳和过滤器等组件的表面，防止灰尘和杂物影响机器的工作效果。
4、避免短时间内反复开关机：长时间的使用和开机能够提高紫外灯的寿命，但短时间内反复开关机只会加速灯管的老化。
5、保持适宜的工作环境：保持清洗机的工作环境在20~40℃之间，湿度控制在80%以下。
