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SIC清洗机就是碳化硅，目前市场的主流材料。既然如此，大家安排选购的时候，也想要明白一个重要问题，就是SiC清洗机到底可以分成多少种类？

目前资料显示，主要可以根据处理方式、自动化程度、适用规格以及结构设计等多个方面进行划分。

按处理方式分类

单片清洗设备：这种设备可以针对单个晶圆的清洗进行条件优化，适用于需要精细清洗或特殊处理的场合。

槽式清洗机：用于批量处理晶圆，适合大规模生产，能够同时清洗多个晶圆，提高生产效率。

按自动化程度分类

全自动SiC清洗机：具备全自动控制功能，通常配备高速机械手，能够实现自动上下料、自动配液/补液等功能，大大提高了工作效率和操作的便捷性。

半自动SiC清洗机：部分操作需要人工干预，但仍然具备较高的自动化程度，适合中等规模的生产线使用。

按适用规格分类

兼容多种规格的SiC清洗机：可兼容不同尺寸的SiC衬底片进行清洗，如4寸、6寸、8寸等不同尺寸的晶圆。

特定规格的SiC清洗机：针对某一特定尺寸的SiC衬底片进行设计和优化，以满足特定生产线的需求。

按结构设计分类

紧凑型SiC清洗机：设备外观大气、结构紧凑，后部设置排风口等设计，有利于保证设备内部环境的稳定和清洁。

模块化设计SiC清洗机：软件客制化、模块化设计，工序可灵活编辑、组合选配，满足不同客户的生产需要。