轻松掌握光刻工艺：前烘

01 引言

Introduction

在科技日新月异的今天，光刻工艺作为半导体制造的核心技术之一，扮演着至关重要的角色。今天，托托科技将带领大家走进光刻工艺的神秘世界，特别是其中一道关键工序——前烘。让我们一同揭开它的神秘面纱，探寻其中的奥秘。

光刻工艺流程图

前烘，作为光刻工艺中的一道工序，其重要性不言而喻。在光刻胶被涂抹到硅片表面后，前烘就是其接下来的必要操作。这一步看似简单，但实际上却蕴含了无数的细节。

首先，需要明确前烘的目的。前烘的主要作用是通过加热的方式，使光刻胶中的溶剂逐渐挥发，从而使光刻胶变得干燥而坚韧。这一过程不仅有助于提高光刻胶与硅片的粘附力，还能消除胶膜内的应力，使其更加平坦。这样一来，在后续的曝光、显影等步骤中，光刻胶就能更好地发挥其作用，确保图案的精度和清晰度。

然而，前烘并非一蹴而就的过程。它需要精确控制温度和时间，确保光刻胶能够达到状态。温度过高或时间过长，都可能导致光刻胶过度干燥，甚至产生裂纹；而温度过低或时间过短，则可能使光刻胶中的溶剂无法全部挥发，影响后续工艺的效果。

因此，在实际操作中，前烘的温度和时间都是经过精心计算和调试的。不同的光刻胶，由于其成分和性质的不同，需要不同的前烘条件。因此，在进行前烘之前，工程师需要根据光刻胶的具体情况进行详细的分析和测试，以确定前烘参数。

除了温度和时间之外，前烘过程中还需要注意一些其他因素。例如，硅片表面的清洁度对于前烘效果有着至关重要的影响。如果硅片表面存在杂质或污染物，就可能导致光刻胶与硅片之间的粘附力降低，从而影响后续工艺的效果。因此，在进行前烘之前，必须对硅片表面进行严格的清洗和检查。

02 对正胶显影过程的影响

Influence on the development process of positive glue

过高溶剂残留

在前烘不充分情况下，正胶中过高的残留溶剂浓度会导致显影过程中未曝光的光刻胶膜区（暗腐蚀）增加，光刻胶轮廓形状受到影响，特别是尺寸精度及其侧壁陡直度也受影响，如图所示，这是高溶剂残留和正常工艺下显影过程模拟。

高溶剂残留和正常工艺下正胶显影过程

除了增加了暗腐蚀现象外，同时也会增强碱性显影液的碱度，从而导致对光刻胶膜更强的腐蚀性，这不仅会导致光刻胶膜的改变，也会导致电解液等的有机污染。

另外，在湿法化学工艺过程中，如湿法蚀刻或电镀，衬底附近的高残留溶剂浓度会导致光刻胶在衬底上的附着力降低导致工艺失败或者良率降低。

在光刻工艺中，前烘虽然只是其中的一道工序，但它却对整个工艺的成功与否起着重要的作用。它就像是给硅片上的光刻胶注入了一股神秘的力量，让其在后续的工艺中展现出惊人的效果。

光刻工艺流程中的前烘步骤，作为光刻技术的关键环节之一，对于确保光刻胶的均匀性、粘附性以及减轻旋转过程中产生的应力起着至关重要的作用。经过前烘处理，光刻胶膜内的溶剂得以充分逸出，干燥后的光刻胶更加稳定，为后续的对准曝光和刻蚀等步骤奠定了坚实的基础。

感谢大家对本期TuoTuo科普的关注和支持，下期我们将来带更多有关光刻工艺的科普，敬请期待。