生命科学无掩膜光刻机（BIO系列）是一款专为生命科学领域设计的紫外光刻设备。

特征尺寸1μm：BIO系列无掩膜光刻机能够实现1μm的精细特征尺寸，这对于生命科学领域中的微纳加工技术来说至关重要，可以满足高精度图案化的需求。

高深宽比：设备采用了更短的波长光源，结合优化的光刻工艺，实现了更高的深宽比，这对于制备厚胶层和高 aspect ratio 的微结构至关重要。

无掩膜光刻技术：BIO系列无需传统掩膜版，直接通过计算机生成的光束进行光刻，大大提高了生产的灵活性和效率，同时降低了成本。

适用于厚胶工艺：BIO系列无掩膜光刻机的高深宽比特性使其非常适合于厚胶层的微加工，这在生命科学领域，尤其是微流控芯片的制造中尤为重要。

微流控芯片制造：设备能够精确地制造出微流控芯片上的微通道、微室和其他复杂结构，这些结构对于生物样品的处理、分析至关重要。

研究与应用支持：BIO系列无掩膜光刻机为生命科学研究提供了强有力的工具，使得科学家能够探索新的实验方法，推动生物技术、药物筛选、细胞培养等领域的发展。

灵活性与定制化：无掩膜光刻技术允许用户快速更换设计图案，实现定制化生产，这对于不断变化的科研需求和市场应用尤为重要。

节省时间和成本：由于省去了掩膜版的制作环节，BIO系列无掩膜光刻机能够显著缩短研发周期，降低生产成本。

环保与可持续性：无掩膜光刻技术减少了化学试剂的使用和废弃物的产生，符合环保和可持续发展的要求。

BIO系列生命科学无掩膜光刻机以其高深宽比、高精度和无掩膜光刻技术的特点，为生命科学领域提供了一种高效、灵活且环保的微加工解决方案。它的出现不仅为科学研究提供了新的工具，也为生物医疗设备和实验室仪器的制造带来了创新的可能。