起订量:
QCM系列 石英晶体微天平
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代理商First-Nano System GmbH
2003年 创立于德国德累斯顿工业大学(Dresden University of Technology)
2008年 香港成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
2015年 上海成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司中国代表处,负责中国区业务
2018年 深圳正式成立韦氏纳米系统(深圳)有限公司,更好的为中国南方区市场
德国韦氏纳米系统成立以来,一直为客户想的更多,Thinking more !!!
产品范围:
薄膜沉积/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems
MicroVacuum是源于匈牙利的品牌。
石英晶体微天平 QCM系列
工作原理:
仪器的核心组件为具有功能表面的石英芯片,通过石英晶体的压电效应来实时监控表面反应。
当物质在石英晶体表面发生吸脱附反应或者石英晶体表面的液体性质发生变化时,都会引起频率的变化和振荡损耗(耗散)的变化。芯片共振频率的变化,与芯片表面吸附的物质的质量相关。而振荡能量损耗的强度与吸附物质本身的粘弹性及结构相关。QCM-I系列均可以高精度实时的监控这些变化。
通过分析频率变化与耗散变化,可以获得吸附层相应的质量、吸附层厚度、粘弹性(剪切模量)等信息。
应用领域:
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