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FERA 聚焦离子束(Xe)扫描电镜 FERA
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生产厂家公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、先进封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。
目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供先进的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。
世jie第yi个*集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3,提供了超高离子束束流(zui高束流为2µA),其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料,FERA3型仪器是一个不错的选择。
新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了zui新的技术优势,例如:改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快,带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统,内置的编程软件等。
FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求,其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为优xiu的分析工具。
现在保持电镜处在优xiu的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率zui大化,操作zui简化。
电镜除了可以自动化设置外,还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。
FERA3 GM是一款由计算机*控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
背散射电子图像分辨率 | 0.9nm |
二次电子图象分辨率 | 1.3nmnm |
放大倍数 | 2000000x |
加速电压 | 30kV |
价格区间 | 500万-700万 |
仪器种类 | 场发射 |
应用领域 | 医疗卫生,生物产业,电子 |