MDPlinescan
高级会员第5年
代理商束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。
束蕴仪器,让世界更清晰!
主营仪器设备:
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司
详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。
允许单片调查
配方的基础测量
监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
优势
在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆在不同的准备阶段,直到设备,砖或锭。
小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。重点是长时间的可靠性和测量结果的精度。
样品 | 多晶或单晶晶圆原料, 晶锭,晶胞 |
样品尺寸 | 大约50 x 50 mm2 |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
conduction type | p, n |
材质 | 硅晶圆,部分或*加工的晶圆,复合半导体等 |
测量属性 | 载流子寿命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg |
电源 | 24 V DC, 2 A |