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弗莱贝格--MDPlinescan MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
高级会员第5年
代理商束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。
束蕴仪器,让世界更清晰!
主营仪器设备:
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司
详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
►公司简介
Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。
初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
Freiberg Instruments是一家发展迅速,充满活力,专业又具有创新的的分析仪器公司,产品广泛应用于剂量学、
医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。
►产品介绍
德国弗莱贝格MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)是一款灵活的OEM设备,可以用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。
MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)配置标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
--各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。
--MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
--样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。
--该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源即可。例如,电池生产线上的来料质量检查是其常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
►特性
--允许单片调查
--配方的基础测量
--监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
►优势
--在µ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
--用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。
--小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。
►技术参数