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Freiberg--MDPmap MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试
高级会员第5年
代理商束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。
束蕴仪器,让世界更清晰!
主营仪器设备:
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司
详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
?产品介绍
--MDPmap(MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试)是一个紧凑的离线台式检测设备,主要被设计用于生产控制或研发、测量少子寿命、光电导率、电阻率和缺陷信息等参数。其工作状态为稳态或短脉冲激励下(μ-PCD)。
--MDPmap(MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试)自动化的样品识别和参数设置可以使该仪器方便地适应各种不同的样品,包括从生长的晶圆到高达95%的金属化晶圆之间不同制备阶段的各种外延片和晶圆片。
--MDPmap主要优点是其高度的灵活性,它允许集成多达4个激光器,用于从超低注入到高注入的与注入水平相关的寿命测量,或者通过使用不同的激光波长提取深度信息。
?设备特点
--灵敏度:对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的较高分辨率
--测量速度:6英寸硅晶圆片,1mm分辨率 ,小于5分钟
--寿命测试范围: 20纳秒到几十毫秒
--沾污检测:源自坩埚和生长设备的金属(Fe)污染
--测量能力:从初始切割的晶圆片到所有工艺加工的样品
--灵活性:允许外部激光通过触发器,与探测模块耦合
--可靠性: 模块化和紧凑台式仪器,更高可靠性,正常运行时间> 99%
--重现性: > 99.5%
--电阻率:无需时常校准的电阻率面扫描
?设备参数