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德国Freiberg--MDPpro MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命
高级会员第5年
代理商束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。
束蕴仪器,让世界更清晰!
主营仪器设备:
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司
详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
►公司简介
--Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
--2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
--Freiberg Instruments是一家发展迅速,充满活力,专业又具有创新的的分析仪器公司,产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。
►产品介绍
--弗莱贝格的MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计*符合SEMI标准PV9-1110。
--这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化以及常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量等领域被广泛应用。可以说,MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)算得上是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。
►特性&优势:
--无接触和无破坏的半导体检测;
--特殊“underneath the surface”寿命测量技术;
--对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度;
--自动设置硅錠切割标准;
--空间分辨p/n电导型变换检测;
--多项数据同时自动检测扫描,5幅测量图形同时绘制;
--坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装,仅需要电源。
►应用实例
-1.日常寿命测量,质量控制和检验
--产量:>240块/天或>720片/天
--测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
--良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
--质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
--沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
--可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%
--可重复性:> 99.5%
--电阻率:可做面扫描,不需经常校准
-2. 精密材料研发
--a.铁浓度测定
--b.陷阱浓度测定
--c.硼氧测定
--d.依赖于注入的测量等