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固态微波远程等离子体源|半导体清洗|刻蚀
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微波发生器,微波功率源,微波等离子,微波萃取设备发生源,微波消解设备发生源,微波系统
成都沃特塞恩电子技术有限公司是位于中国四川省成都市高新区的一家致力于开拓射频能量应用的企业。沃特塞恩专注于固态功率源系列产品的研发、生产和销售；提供射频能量在ISM领域应用的技术服务和解决方案，包括：
l 工业领域(I)：微波加热/解冻/干燥、固液危废处理、MPCVD法新材料制备
l 科研领域（S）：粒子加速器用微波源、光源激励用微波源、等离子激励用微波源
l 医疗领域（M）：肿瘤微波消融、热疗/理疗、超声成像微波增强、核磁共振用微波源
详细信息
沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统引进了德国前端的等离子体技术，主要由等离子体放电腔、高效率固态微波源、微波传输及调配器组成。
因固态微波远程等离子体源的特殊结构，等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发，在保证高电离率与低重组率的同时，为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤，活性自由基对样品的作用占主导地位，有效控制反应均匀性，减少污染，是干法处理半导体材料的更优的方案。
产品特点
> 采用全新LDMOS技术的固态微波源，频率、功率稳定性高，使用寿命长，无需更换磁控管耗材
> 等离子体放电腔材质可选，可适用各种气体
> 体积小、集成度高、便于更换
> *的放电腔设计，负载匹配度高，反射功率小，低于1%
> 系统运行气压适应范围广
> 电离率高、电离速度快
