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HMPS-2060SP 微波等离子化学气相沉积系统MPCVD炉
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生产厂家成都沃特塞恩电子技术有限公司是位于中国四川省成都市高新区的一家致力于开拓射频能量应用的企业。沃特塞恩专注于固态功率源系列产品的研发、生产和销售;提供射频能量在ISM领域应用的技术服务和解决方案,包括:
l 工业领域(I):微波加热/解冻/干燥、固液危废处理、MPCVD法新材料制备
l 科研领域(S):粒子加速器用微波源、光源激励用微波源、等离子激励用微波源
l 医疗领域(M):肿瘤微波消融、热疗/理疗、超声成像微波增强、核磁共振用微波源
【MPCVD培育钻石】HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
沃特塞恩旗下的和瑞微波事业部专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及MPCVD设备生产、具有多项自主知识产权……,我司生产的这款型号为HMPS-2060SP的微波等离子体CVD设备(CVD钻石生长设备)具有以下优势特点:
. 采用沃特塞恩第三代高稳定固态功率源;上馈式圆柱型放电腔。
. 性能*,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
. 多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。
应用范围
高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。
多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产,材质表面处理、低温氧化物的生长等。
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产地类别 | 国产 |
加热方式 | 微波加热 |
价格区间 | 50万-100万 |
仪器种类 | 真空炉 |
应用领域 | 环保,化工,电子,冶金,综合 |
最大功率 | 6000kW |
功率 | 6kW |
频率 | 2450MHz |
生长尺寸 | 2英寸 |