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VTC-600-3HD 三靶磁控溅射仪
- 型号
- VTC-600-3HD
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详细信息
三靶磁控溅射仪主要特点：
1、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任意调换）。
2、可制备多种薄膜，应用广泛。
3、体积小，操作简便。
4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。
5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。
技术参数：
1、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任意调换）。
2、可制备多种薄膜，应用广泛。
3、体积小，操作简便。
4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。
5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。
技术参数：
| 产品名称 | VTC-600-3HD双靶磁控溅射仪 | |
| 产品型号 | VTC-600-3HD | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要 | |
| 主要参数 | 1、电源电压：220V 50Hz 2、总功率：＜2.5KW 3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到 E-5mbar） 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 5、靶枪数量：3个 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、直流溅射功率：500W（可选） 9、射频溅射功率：300W/500W（可选） 10、载样台：Ø140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜。 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、保护气体：Ar、N2等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM | |
| 产品规格 | 主机尺寸：500mm×560mm×660mm， | |
| 标准配件 | 1直流电源控制系统2套 2射频电源控制系统1套 3膜厚监测仪系统1套 4分子泵（德国进口）1台 5冷水机1台 6冷却水管（Ø6mm）4根 | |
| 可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | |
