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GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪

型号
GSL-1100X-SPC-16M
参数
应用领域:医疗卫生,环保,化工,能源,电子
上海添时科学仪器有限公司

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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。

主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。

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公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




详细信息

主要特点:

1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
6、溅射头采用Peltier制冷技术,可得到高性能、精细颗粒的涂层。
7、可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数:


产品名称GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪
产品型号
GSL-1100X-SPC-16M
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:不需要
主要参数
1、靶:Ø50mm
2、真空室:Ø160mm×120mm
3、真空度:≤4×10-2mbar
4、max电流:50mA(可选100mA)
5、可设定极*:9999s
6、微型真空气阀:连接Ø3mm软管
7、极限电压:1600V  DC
8、机械泵:2L/s
产品规格

尺寸:360mm×300mm×380mm。
整体重量:50Kg
主机净重:15Kg

标准配件1、金靶材1个
2、进气针阀1个
3、保险丝2个
可选配件金、铟、银、铂等各种靶材


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产品参数

应用领域 医疗卫生,环保,化工,能源,电子
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