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VTC-600-2HD-1000 双靶磁控溅射仪
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代理商上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!
公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。
主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。
未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!
公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*
产品名称 | VTC-600-1HD单靶磁控溅射仪 | |
产品型号 | VTC-600-1HD | |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) | ||
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀 | ||
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 | ||
5、通风装置:需要 | ||
主要参数 | 1、输入电源:220V/50Hz | |
2、溅射靶数量:2 | ||
3、靶枪冷却方式:水冷 | ||
4、极限真空度:7.4E-5pa | ||
5、真空室规格:Φ300×330 mm | ||
6、真空系统:VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵 | ||
7、恢复真空:系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min(系统短时间暴露大气) | ||
8、充气系统:2路质量流量计(1路氩气100scc、2路氩气200scc)特殊气体可定制 | ||
9、溅射靶规格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同) | ||
10、样品台:Φ140mm/可旋转(1~20rpm)/可加热(室温~1000℃) | ||
产品规格 | 主机尺寸:宽900mm×深650mm×高1100mm |