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起订量：
VGB-600-3HD 薄膜电池制备系统
- 型号
- VGB-600-3HD
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉，退火炉，气氛炉，真空感应熔炼炉，箱式炉，手套箱，研磨抛光机，电池测试恒温箱，金刚石线切割机，磁控溅射仪，蒸发镀膜，PECVD设备供应商！
公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。
主要产品：生命科学仪器，化学分析仪器，光学仪器，物性测试仪器及设备，环保设备/流量仪表，行业专用仪器，药物检测仪器，种子仪器，农业和食品仪器，石油仪器，煤炭仪器，测绘仪表，建筑仪器，公路仪器，地质仪器，电工仪器仪表，自动化仪表，气象仪器，环保仪器，电教器材，无线电仪器，小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质，高服务，高信誉”赢得各地市场，各个领域的好评和欢迎。
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公司宗旨：客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*
详细信息
主要特点：
1、配置三个靶枪，一个配套射频电源通过转换开关可以分别连接至任一靶头，用于各类靶材的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任何调换）。
2、可制备多种薄膜，应用广泛。
3、体积小，操作简便。
4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。
5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪（选配）。
6、可在手套箱内进行实验操作，更换各类易氧化的靶材用于镀膜实验。
技术参数：
| 产品名称 | VGB-600-3HD薄膜电池制备系统 | |
| 产品型号 | VGB-600-3HD | |
| 主要参数 | 三靶磁控溅射部分 1、电源电压：220V 50Hz 2、总功率：2.5KW 3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司机械泵设备使用可达到 E-3mbar） 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 5、靶枪数量：3个 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、溅射电源功率：300W（射频）/500W（直流） 9、载样台：Ø140mm 10、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 11、保护气体：Ar、N2等惰性气体 12、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM 手套箱部分 1、电源：单相AC110V-220V 50Hz/60Hz 2、壳体材料：304不锈钢 3、手套箱腔体：1220mm×760mm×900mm 4、前级室：设有2个前级室，大前级室Ø360mm×600mm，小前级室Ø150mm×300mm 5、腔体环境：水含量<1ppm（20℃，1atm），氧含量<1ppm（20℃，1atm） 6、工作气体：N2、Ar、He等惰性气体 7、控制气体：压缩空气或惰性气体 8、还原气体：工作气体和H2的混合气（如果净化系统只有除水功能，还原气体与工作气体相同） 9、气体净化系统： 德国BASF除氧材料、美国UOP高效吸水材料，净化系统再生过程自动控制，自动除水、 除氧功能， 可长期、持续维持气体纯度在水<1ppm、氧<1ppm 10、压力控制系统：腔体气压可通过PLC触摸屏自动控制，控制精度为±1Pa，也可通过脚踏开关进行手动控制11、过滤系统：进、出气端都装有过滤器，过滤精度为0.3μm 12、控制系统：SIEMENS彩色触摸屏（6寸），PLC控制系统，中英文双语可切换； 水探头采用美国GE品牌，0-1000ppm触摸屏显示，精度0.1ppm； 氧变送器采用美国AII品牌，0-1000ppm触摸屏显示，精度0.1ppm； 压力传感仪采用美国setra品牌，-2500-2500Pa触摸屏显示，精度±1Pa； 13、真空泵：采用英国EDWARDS品牌，抽速8.4m3/h-12m3/h 14、手套：美国NORTH品牌丁基合成橡胶 15、照明系统：飞利浦品牌荧光灯管 | |
| 产品规格 | 三靶磁控溅射部分：950mm×460mm×810mm | |
