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CPC-G/Plus CIF实验室型等离子清洗机

型号
CPC-G/Plus
参数
产地类别:国产 应用领域:环保,地矿,能源,交通
华仪行(北京)科技有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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半导体领域仪器设备:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机等。 理化实验室仪器设备:酸蒸逆流清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板等

企业历程 :

◆ 2006 年,在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大学科研院所销售仪器设备的供应商。

◆ 2008 年, 自主研发生产石墨电热板以来, 先后研发生产酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等理化实验仪器设备, 从此走上研发生产专业化道路。

◆ 2010 年,掌握了等离子核心技术,自主研发生产科研型等离子清洗机系列产品。

◆ 2014 年, 在中国注册成立华仪行(北京) 科技有限公司, 正式进入中国市场, 部分仪器设备研发、制造业务移至中国。

◆ 2015 年,自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。

◆ 2017 年,自主研发生产紫外臭氧清洗机系列产品。

◆ 2018 年,在中国成注册立赛福仪器承德有限公司,将研发制造业务全部移至中国。

◆ 2019 年,电镜专用远程等离子清洗机研发成功。

◆ 2021 年,自主研发生产中试、生产型等离子清洗系列产品,完善了等离子产品线。

◆ 2023 年,科研型等离子去胶机、RIE 蚀刻机研发成功。


公司专注材料表面处理技术:

◆ 改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机)                   ◆ 去胶(等离子去胶机)

◆ 蚀刻(等离子刻蚀机)                                              ◆ 涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)

企业愿景:

致力于为全球用户提供专业的表面处理整体解决方案。

企业使命:

CIF与我们的员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人,同呼吸,共命运,共同成长,共同发展,共同成就梦想!


详细信息

产品特点:

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

◆  顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。

◆  CIF实验室型等离子清洗机采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

◆  有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。


CIF实验室型等离子清洗机技术参数:

型号

CPC-G

CPC-Gplus

射频电源

40KHz

13.56MHz

射频功率

0-600W

0-150W

匹配器

自动匹配

激发方式

电容式

气体控制

单路 MFC(可选两路)

舱体尺寸

H100xΦ269mm

舱体容积

5.6L

舱体材质

石英玻璃

有效处理尺寸

Φ269mm 圆盘

时间设定

9999 秒

真空泵

抽速 4m³/h

气体稳定时间

1 分钟

真空度

100pa 以内

 

AC220V 50/60Hz  752/302W

产品尺寸

L425xW480xH445mm

包装尺寸

L550xW630xH700mm

整机重量

30kg



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 环保,地矿,能源,交通
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