起订量:
CPC-10/Plus CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列
高级会员第10年
生产厂家企业历程 :
◆ 2006 年,在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大学科研院所销售仪器设备的供应商。
◆ 2008 年, 自主研发生产石墨电热板以来, 先后研发生产酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等理化实验仪器设备, 从此走上研发生产专业化道路。
◆ 2010 年,掌握了等离子核心技术,自主研发生产科研型等离子清洗机系列产品。
◆ 2014 年, 在中国注册成立华仪行(北京) 科技有限公司, 正式进入中国市场, 部分仪器设备研发、制造业务移至中国。
◆ 2015 年,自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。
◆ 2017 年,自主研发生产紫外臭氧清洗机系列产品。
◆ 2018 年,在中国成注册立赛福仪器承德有限公司,将研发制造业务全部移至中国。
◆ 2019 年,电镜专用远程等离子清洗机研发成功。
◆ 2021 年,自主研发生产中试、生产型等离子清洗系列产品,完善了等离子产品线。
◆ 2023 年,科研型等离子去胶机、RIE 蚀刻机研发成功。
公司专注材料表面处理技术:
◆ 改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机) ◆ 去胶(等离子去胶机)
◆ 蚀刻(等离子刻蚀机) ◆ 涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)
企业愿景:
致力于为全球用户提供专业的表面处理整体解决方案。
企业使命:
CIF与我们的员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人,同呼吸,共命运,共同成长,共同发展,共同成就梦想!
产品特点:
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
◆ 顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
◆ 采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
◆ 有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
技术参数:
型号 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | ||
激发方式 | 电容式 | 电容式 | ||
气体控制 | 双浮子流量计 | 单路 MFC(可选两路) | ||
舱体尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
舱体容积 | 10.8L | 10.8L | ||
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | ||
有效处理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
时间设定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 8m³/h | 抽速 8m³/h | ||
气体稳定时间 | 1 分钟 | 1 分钟 | ||
真空度 | 100pa 以内 | 100pa 以内 | ||
电 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | ||
产品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包装尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整机重量 | 55kg | 55kg |