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ELS-F125/F100/HS50 电子束曝光系统

型号
ELS-F125/F100/HS50
参数
产地类别:进口 价格区间:面议 应用领域:化工,电子,电气,综合
上海纳腾仪器有限公司

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上海纳腾仪器有限公司是从事扫描探针显微镜(SPM)销售的专业公司。公司作为俄罗斯NT-MDT在中国大陆及港、澳地区的经销商(RESELLER),在扫描探针显微镜(SPM)领域有多年的实践经验,拥有一支成熟的销售、技术团队,迄今已累计销售超过100台(套)仪器。



详细信息

电子束曝光系统ELS-F125具有以下优点:

l  超高书写精度

- 5 nm 线宽精度 @125 kV

- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV

 

l  大通量、均匀性好

- 宽视野书写:500um视场下10 nm线宽

- 高束流下电子束直径依然很小,大通量而不影响分辨率,2 nm电子束直径@1 nA

 

l  界面用户友好

基于Windows系统的CAD和SEM界面:

-简单易用的图案设计功能

-易于控制的电子束条件

 

二、电子束曝光系统主要功能:

l  主要应用

纳米器件的微结构

集成光学器件,如光栅,光子晶体等

NEMS结构,复杂精细结构

光刻掩模板,压印模板

l  技术能力

   

 

三、应用:

   

   


 

 

 

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产品参数

产地类别 进口
价格区间 面议
应用领域 化工,电子,电气,综合
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